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原子层沉积技术:原理及其应用
| ISBN/价格： | 978-7-03-082048-8:CNY160.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 原子层沉积技术/.李爱东[等]编著 |
| 版本项： | 2版 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2025.08 |
| 载体形态项： | 14,636页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 南京大学材料科学与工程系列丛书 |
| 提要文摘： | 本书共十七章。包括原子层沉积的发展历史、原理、设备、前驱体、沉积材料与生长机理以及理论计算与模拟等基础内容，又论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积等特色技术，涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学、能源、催化、含能材料、生物医学、封装、防腐、分离膜等领域的应用，还介绍了原子层刻蚀技术。 |
| 题名主题： | 原子 沉积 技术 |
| 中图分类： | TB3 |
| 个人名称等同： | 李爱东 编著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20251009 |