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高性能MEMS惯性器件技术
| ISBN/价格： | 978-7-5159-2449-6:CNY158.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 高性能MEMS惯性器件技术/.刘福民[等]著 |
| 出版发行项： | 北京:,中国宇航出版社:,2024.10 |
| 载体形态项： | 406页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 国家出版基金项目 |
| 提要文摘： | 本书围绕MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的典型结构、误差机理、关键技术、制造工艺和测试技术等问题,由基本原理和公式推导出发,紧密结合工程实际,系统深入地对高性能MEMS惯性仪表技术进行了阐述。本书共7章,第1章概述;第2章介绍了MEMS陀螺仪典型结构及误差机理;第3章介绍了高性能MEMS陀螺仪关键技术;第4章介绍了高性能MEMS加速度计典型结构及误差机理;第5章介绍了高性能MEMS加速度计关键技术;第6章介绍了高性能MEMS惯性器件工艺技术;第7章介绍了高性能MEMS惯性器件测试技术。 |
| 题名主题： | 微电子技术 惯性元件 |
| 中图分类： | TN965 |
| 个人名称等同： | 刘福民 著 |
| 个人名称等同： | 王巍 著 |
| 个人名称等同： | 刘国文 著 |
| 个人名称等同： | 徐宇新 著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20251009 |