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《电子薄膜技术与前沿应用》

电子薄膜技术与前沿应用

ISBN/价格:978-7-5770-1567-5:CNY59.00
作品语种:chi
出版国别:CN 510000
题名责任者项:电子薄膜技术与前沿应用/.于贺主编
出版发行项:成都:,电子科技大学出版社:,2025.03
载体形态项:179页:;+图:;+24cm
提要文摘:本书共10章,第1章为绪论,第2章至第7章的内容涵盖了真空技术基础、蕉发镀膜法、溅射沉积法、离子镀膜技术、化学气相沉积技术、溶液镀膜法等传统制备工艺,第8章至第10章的内容涵盖了电子薄膜的生长理论、电子薄膜的常见表征方法,以及新型电子海膜的开发及前沿技术领域应用等方面。在第10章中,重点探讨了电子海膜技术在微电子与集成电路、光电子、能源电子、超导以及柔性电子技术领域中的最新应用与前沿发展。
题名主题:电子材料 薄膜 研究
中图分类:TN04
个人名称等同:于贺 主编
记录来源:CN LCTBU 20251012
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