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微电子工艺实验教程
| ISBN/价格： | 978-7-121-50690-1:CNY45.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微电子工艺实验教程/.王珏主编 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2025.07 |
| 载体形态项： | 161页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 集成电路科学与工程系列教材 |
| 提要文摘： | 本书设计了12个实验,包括1个工艺仿真基础实验、6个单步工艺实验和5个成套工艺实验。每个实验均配有操作指导,还安排了启发性思考题和拓展实验内容。 |
| 题名主题： | 微电子技术 实验 教材 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 王珏 主编 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20251023 |