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微细加工技术
| ISBN/价格： | 978-7-5767-1009-0:CNY68.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 230000 |
| 题名责任者项： | 微细加工技术/.张甲, 王振龙, 周丽杰编著 |
| 出版发行项： | 哈尔滨:,哈尔滨工业大学出版社:,2024.01 |
| 载体形态项： | 313页:;+图,照片:;+26cm |
| 一般附注： | “十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目 先进制造理论研究与工程技术系列 |
| 提要文摘： | 本书从当前微纳零件及微系统的制造需求出发,论述了微纳尺度下力学、热学、光学、电学等的变化特点,进而从加工原理、加工装备、加工工艺等方面阐述了各类微细加工技术的新进展。全书共11章,内容包括:微细加工技术概述、微机械与微细加工理论基础、微细切削加工技术、微细电火花加工技术、高能场微细加工技术、生长型微细加工技术、硅微细加工技术、LIGA技术、纳米压印技术、自组装加工技术和扫描探针加工技术。 |
| 并列题名： | Microfabrication technology eng |
| 题名主题： | 特种加工 |
| 中图分类： | TG66 |
| 个人名称等同： | 张甲 编著 |
| 个人名称等同： | 王振龙 编著 |
| 个人名称等同： | 周丽杰 编著 |
| 记录来源： | CN LCTBU 20260122 |