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集成电路工艺实验
| ISBN/价格： | 978-7-5770-1376-3:CNY42.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 510000 |
| 题名责任者项： | 集成电路工艺实验/.谭永胜, 方泽波主编 |
| 出版发行项： | 成都:,电子科技大学出版社:,2025.01 |
| 载体形态项： | 99页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程工艺作用来分配，将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的实验项目。学生真正掌握了这些实验的方法，熟悉各大型设备的实际操作，即可在工艺线上单独流片，制造出合格的、结构较简单的集成电路芯片。 |
| 题名主题： | 集成电路工艺 实验 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 谭永胜 主编 |
| 个人名称等同： | 方泽波 主编 |
| 记录来源： | CN 百万庄 20250310 |