| ISBN/价格： | 978-7-111-79683-1:CNY68.00 (（全二册78.00 ）) |
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| 作品语种： | chi |
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| 出版国别： | CN 110000 |
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| 题名责任者项： | 半导体厂务项目工程管理/.沈晓宇, 王栋, 戴丽华主编/.程磊 ... [等] 参编 |
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| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2026.1 |
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| 载体形态项： | 194页, [2] 页图版:;+图 (部分彩图):;+26cm:;+附《半导体厂务项目工程管理项目工程评价手册》1册 (29页 ; 24cm) |
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| 丛编项： | 先进半导体产教融合丛书 |
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| 提要文摘： | 本书共7个单元, 具体内容为半导体厂务项目工程管理概述、高低压电力系统和FMCS的设计与维护、动力系统的设计与运行维护、排气系统的设计与运行维护、洁净室系统的设计与运行维护、气化系统的设计与运行维护、纯废水系统的设计与运行维护。 |
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| 并列题名： | Engineering management of semiconductor factory projects eng |
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| 题名主题： | 半导体 工厂 工程项目管理 |
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| 中图分类： | F407.63 |
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| 个人名称等同： | 沈晓宇 主编 |
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| 个人名称等同： | 王栋 主编 |
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| 个人名称等同： | 戴丽华 主编 |
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| 个人名称次要： | 程磊 参编 |
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| 个人名称次要： | 程雪敏 参编 |
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| 记录来源： | CN 湖北三新 20260123 |
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